设备名称：激光绘图仪1台
详细参数：
型号：LRS1100-30S(附带：电子束形状测量仪1台）
技术规格：［书写面积:（43"*43"）max;适用板厚:2~7mm;
解像尺寸:3.0μm;线宽均匀度:≤0.4μm;
重复精度:≤600纳米/500*500mm2,≤800纳米/900*900mm2;光点距:100纳米;
书写速度:800m2/min］
生产厂商：MICRONIC 公司 (瑞典) 有意向者可

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